半导体设备远程智能代操方案

　　目前半导体工厂减员增效，提高产能最有效，最合理，系统间配合度最高之解决方案

　　综合机台远程操作，智能代操，图像识别，缺陷分析，进阶工艺控制，大数据分析系统的优势，全面覆盖半导体制造领域多个应用场景
 

　　减员增效

　　本方案实施后，可显著提高人员工作效率，提高设备产能，减少质量问题

　　智能

　　基于大数据，人工智能和深度学习技术，在多个场景可以实现完全替代人

　　稳定

　　程序替代人进行操作

　　稳定性及正确率可以达到100%

　　强大

　　实时识别动态画面及复杂操作场景并作出正确判断。
 

　　设备远程管理

　　完全和在机台近端一样的操作体验

　　机台常规操作自动化

　　7*24实时监控机台画面

　　根据特定事件进行对应的操作，完全解放人力，稳定高效，例如“一键PM”，消除false alarm，自动重量等

　　设备运行参数自动收集与调整

　　自动收集目前基于人力经验的设备参数调整，进一步由iDEP分析出背后关键因子，给出调整方案，由RPA自动执行，例如IMP机台调整束流