应用场景：可应用于LCD、OLED、Mini/Micro LED等显示行业各类核心工艺制程的基板洁净搬运
产品特点
–模块化设计
–标准化接口
–轻量化设计
–高洁净度密封设计
–高速、高精度、洁净搬运
–多枚基板同时处理，节省Tact Time
核心技术
–大型基板搬运振动抑制
–高洁净度密封、净化设计
–基于位置反馈的变加速控制
–故障诊断与预测
–高精度精密加工、组装工艺与检测
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