FA-350PX 自动曝光机
设备的特点
采旋回式设置,可简易对应基板之装设及品种更换
产品技术参数
机器尺寸/Machine dimensions2279 (L)x1780(W)x2055(H)mm
工件尺寸(Panel size)最大宽度,Max width: 250mm
有効曝光区域(effective exposure area)250mm x 350mm
遮光板尺寸(Photomask size)W.300mm x L.400mm T: 4.8mm
工件和卷盘尺寸( Workpiece and reel size)工作宽度( Working width) 最大(Max).: 260mm
卷盘尺寸(Reel size)Ø450mm
卷盘搬送精度(Accuracy of reel transfer)±5 µm
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