全方位测试服务

特色仪器

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  X射线检测仪

  采用开管（Open Tube）技术，在放大倍数方面远远超过了采用闭管（Closed Tube）技术的X光检测仪达到亚微米级，能满足客户更高精度的需求，可以轻松获取高质量、高放大倍数和高分辨率下的被测物任何方位的图像

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  反应离子刻蚀机(RIE）

  反应离子刻蚀机（Reactive Ion Etching，RIE），一种微电子干法腐蚀工艺。这种蚀刻的原理是，当在平板电极之间施加10～100MHZ的高频电压（RF，radio frequency）时会产生数百微米厚的离子层（ion sheath），在其中放入试样，离子高速撞击试样而完成化学反应蚀刻，此即为RIE（Reactive Ion Etching）。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式。

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  扫描式电子显微镜

  利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是用样品的二次电子发射微观成像。日立S-4800冷场发射扫描电子显微镜采用半内透镜设计，通过专利的ExB技术,可以适应不同样品的高分辨观测需求,是纳米级研究的必备工具。

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  扫描式电子显微镜

  PHILIPS XL30扫描电子显微镜可用于固体物质的表面形貌观察。二次电子图像立体感强，放大倍数连续可调

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  扫描式电子显微镜

  利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是用样品的二次电子发射微观成像。

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  激光开封机

  激光开封机是由电脑控制系统、激光系统、冷却系统、CCD视觉定位系统等核心元器件组成。

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  离子束刻蚀（IBE）

  利用辉光放电原理将氩气分解为氩离子，氩离子经过阳极电场的加速对样品表面进行物理轰击，以达到刻蚀的作用。刻蚀过程即把Ar气充入离子源放电室并使其电离形成等离子体，然后由栅极将离子呈束状引出并加速，具有一定能量的离子束进入工作室，射向固体表面轰击固体表面原子，使材料原子发生溅射，达到刻蚀目的，属纯物理刻蚀。

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  超声波扫描显微镜

  超声波扫描显微镜Scanning Acoustic Microscope(SAM)是一种利用超声波为传播媒介的无损检测设备。通过发射高频超声波传递到样品内部，在经过两种不同材质之间界面时，由于不同材质的声阻抗不同，对声波的吸收和反射程度的不同，进而采集的反射或者穿透的超声波能量信息或者相位信息的变化来检查样品内部出现的分层、裂缝或者空洞等缺陷。

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  超高精细显微镜

  一台设备就可实现0.1到6000倍的倍率观察。

  1. 可实现光学显微镜20倍以上的景深；在任意角度下大景深观测，在镜头倾斜、手持观察，载物台旋转 的情况下，视野范围也不会偏移，可从180度全方位进行观测；
  2. 二维尺寸测量。通过简单的鼠标操作就能在画面上